srs UGAPM200 氣體分析儀

UGAPM系列過(guò)程監(jiān)測(cè)系統(tǒng)是設(shè)計(jì)用于分析過(guò)程氣體的現(xiàn)代質(zhì)譜儀。入口以低流速（約 5x10-5 mbar L/sec）連續(xù)采樣氣體，使該儀器成為在線分析的理想選擇。UGAPM 系列過(guò)程監(jiān)測(cè)儀運(yùn)行范圍為 1 mTorr 至 20 Torr100、200 和 300 amu 系統(tǒng)<1.5 秒響應(yīng)時(shí)間 （0.1 Torr）多點(diǎn)分析多范圍應(yīng)用幾乎零死體積系統(tǒng)烘烤和樣品線加熱UGAPM 系列過(guò)程監(jiān)測(cè)系統(tǒng)UGAPM 系列過(guò)程監(jiān)測(cè)系統(tǒng)是專為分析過(guò)程氣體而設(shè)計(jì)的現(xiàn)代質(zhì)譜儀。它們的工作范圍為 20 Torr 至 1 mTorr。入口以低流速（約 5x10-5 mbar L/sec）連續(xù)對(duì)氣體進(jìn)行采樣，使該儀器成為在線分析的理想選擇。UGAPM 應(yīng)用包括 CVD/PECVD/RIE/LPCVD/MOCVD、真空鍍膜/等離子體蝕刻、蒸發(fā)、濺射沉積、真空熱處理、目標(biāo)老化、泄漏檢測(cè)/虛擬泄漏/解吸、污染物研究、小體積分析（0.1 mL 范圍）等。這些分析儀也易于操作和維護(hù)。所有組件都可以從前面板或遠(yuǎn)程計(jì)算機(jī)進(jìn)行控制。在UGAPM系統(tǒng)中，使用外徑為1/16“或1/8"的SS毛細(xì)管來(lái)適應(yīng)中真空采樣。通過(guò)這種配置，工藝室和分析儀之間的死體積幾乎為零。工作原理UGAPM內(nèi)部視圖UGAPM系統(tǒng)使用單級(jí)毛細(xì)管減壓入口對(duì)1 mTorr至20 Torr的氣體進(jìn)行采樣。在壓力降低到10-6 Torr左右后，氣流被發(fā)送到質(zhì)譜儀（殘余氣體分析儀-RGA），該質(zhì)譜儀測(cè)量每個(gè)目標(biāo)質(zhì)量的濃度。UGAPM Windows 軟件為復(fù)雜的圖形繪制和數(shù)據(jù)分析提供了圖形用戶界面。該軟件還允許遠(yuǎn)程控制系統(tǒng)的閥門(mén)、加熱器和泵。多毛細(xì)管入口可選的多入口閥有兩種可能的配置。一種是多通道配置，可以應(yīng)用于不同位置的特定樣品壓力。另一種是多量程配置，可應(yīng)用于各種范圍的樣品壓力。

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主營(yíng)產(chǎn)品：示波器主機(jī)和模塊、眼圖儀、光譜儀、信號(hào)源、頻譜分析儀、網(wǎng)絡(luò)分析儀、阻抗分析儀、光通信儀器、誤碼儀、光時(shí)域反射儀、可調(diào)諧激光源、光功率計(jì)、光衰減器等。合作品牌：安捷倫、是德、泰克、安立、愛(ài)得萬(wàn)、安騰、力科、馬可尼（IFR）、R&S、EXFO等。N2843A Keysight 無(wú)源探頭 Keysight 是德

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